深圳納加霍里科技專(zhuān)業(yè)代理銷(xiāo)售日本Nikkato/日淘工程業(yè)務(wù)半導體制造的熱電偶 產(chǎn)品特點(diǎn)如下：

日本Nikkato/日淘工程業(yè)務(wù)半導體制造的熱電偶 日本Nikkato（日淘工程）是工業(yè)加熱設備和高溫材料領(lǐng)域的出這些是半導體制造中使用的各種熱電偶。

可以設計各種形狀和尖峰形狀的熱電偶，還提供各種石英保護管、氧化鋁保護管、陶瓷涂層線(xiàn)材、線(xiàn)徑等。名廠(chǎng)商，其熱電偶產(chǎn)品在半導體制造、陶瓷燒結、冶金等領(lǐng)域應用廣泛。

 熱電偶類(lèi)型

Nikkato的熱電偶主要分為以下幾類(lèi)，符合國際標準（IEC）：

1.K型熱電偶（鎳鉻-鎳硅）

溫度范圍：-200°C ~ +1300°C

特點(diǎn)：性?xún)r(jià)比高，抗氧化性強，適用于半導體設備的低溫至中高溫段（如CVD、擴散爐）。

半導體應用：晶圓熱處理、管式爐溫度監控。

2.R/S型熱電偶（鉑銠-鉑）

溫度范圍：0°C ~ 1600°C（R型）、0°C ~ 1700°C（S型）

特點(diǎn)：高精度、穩定性好，但成本高，適用于超高溫環(huán)境。

半導體應用：?jiǎn)尉Ч枭L(cháng)爐（CZ法）、外延沉積反應器。

3.B型熱電偶（鉑銠30-鉑銠6）

溫度范圍：+600°C ~ +1800°C

特點(diǎn)：耐高溫性能好，抗污染能力強，適合長(cháng)期高溫操作。

半導體應用：高溫氧化爐、退火工藝。

4.C型熱電偶（鎢錸5%-鎢錸26%）

溫度范圍：0°C ~ 2300°C（惰性/還原氣氛）

特點(diǎn)：超高溫測量，但易氧化，需保護套管。

半導體應用：MOCVD反應器、碳化硅（SiC）晶體生長(cháng)。

Nikkato熱電偶的特殊設計

1.保護套管材質(zhì)

氧化鋁（Al?O?）：耐高溫至1800°C，適用于氧化性氣氛。

莫來(lái)石（Mullite）：抗熱震性好，用于快速升降溫工藝。

碳化硅（SiC）：導熱性?xún)?yōu)異，適合半導體高溫工藝。

2.結構形式

裸絲型：響應快，用于高精度控溫（如快速退火）。

鎧裝型：金屬護套（如Inconel），抗機械沖擊，適合嚴苛環(huán)境。

陶瓷封裝型：絕緣性好，防止電信號干擾（如PECVD設備）。

半導體制造中的關(guān)鍵應用

3.晶圓加工

擴散爐：K型或R型熱電偶監控摻雜工藝溫度（800°C~1200°C）。

蝕刻設備：鎧裝K型熱電偶耐腐蝕氣體（如Cl?、CF?）。

4.薄膜沉積

CVD/PVD：B型或C型熱電偶確保反應室高溫均勻性。

ALD：高精度K型熱電偶控制低溫沉積（200°C~400°C）。

5.封裝與測試

回流焊：短時(shí)高溫測量（S型熱電偶）。

優(yōu)勢總結

Nikkato熱電偶以高可靠性、長(cháng)壽命和定制化服務(wù)（如特殊長(cháng)度/接頭設計）著(zhù)稱(chēng)，適合半導體行業(yè)對工藝穩定性的嚴苛要求。

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