深圳納加霍里科技專(zhuān)業(yè)代理銷(xiāo)售日本MEG對齊單元X9106-MO23DB 產(chǎn)品特點(diǎn)如下：

日本MEG對齊單元X9106-MO23DB用于半導體設備、液晶面板制造、精密組裝線(xiàn)等需要亞微米級定位的場(chǎng)景，高精度對齊單元,專(zhuān)注于高精度工業(yè)自動(dòng)化組件，如對齊單元、傳感器和定位系統.

可靈活應對多品種工件的長(cháng)沖程和高速定位所需的長(cháng)壽命對準單元，在半導體及電子零件行業(yè)中被用于工件定位，取得了很多實(shí)績(jì)。穩定的定位性能以緊湊但長(cháng)行程重復精度高的凸輪為基礎，鉚釘采用無(wú)背襯機構，緩沖器具有彈簧中央緩沖器功能，可穩定定位050的身體內收納4個(gè)無(wú)限軌道型線(xiàn)性導軌，并且到極限省略浪費6mm的長(cháng)沖程成為可能。

適用于從微芯片到帶端子芯片的廣泛用途，無(wú)沖擊工作通過(guò)使用長(cháng)壽命凸輪曲線(xiàn)變形等速度曲線(xiàn)的凸輪和步進(jìn)電機的加減速控制，即使在高速情況下也能實(shí)現柔和的定位，無(wú)限軌道線(xiàn)性導軌的靈活操作和凸輪的簡(jiǎn)單機制確保了長(cháng)期的初始位置精度，α STEP馬達的追加外部驅動(dòng)采用實(shí)現閉環(huán)控制的α STEP DC電源類(lèi)型。

因為是用步進(jìn)馬達驅動(dòng)，所以指甲的進(jìn)給量可以根據工件進(jìn)行設定，手指導軌采用預壓的線(xiàn)性導軌，實(shí)現了高的重復精度，可以利用馬達后部的旋轉軸安裝原點(diǎn)傳感器和限位傳感器，也可以方便地作為機械調整時(shí)的手動(dòng)手柄使用，帶馬達的型號有2相馬達和α STEP馬達兩種可選，相馬達已更新，可以設置高分辨率。

核心功能

1.精密定位：

通過(guò)內置高分辨率傳感器（如激光或光學(xué)編碼器）實(shí)現微米級（μm）或納米級（nm）的位置對齊。

適用于晶圓、面板、精密零件的對準與校正。

2.多軸控制：

支持X/Y/Z軸或θ（旋轉軸）的多自由度調整，集成運動(dòng)控制算法。

3.自動(dòng)化集成：

兼容PLC、工業(yè)機器人或上位機系統，支持標準通信協(xié)議（如EtherCAT、RS-485等）。

典型應用場(chǎng)景

半導體封裝：晶圓與掩模版的對齊。

FPD制造：液晶面板的精準貼合。

精密檢測：配合顯微鏡或CCD進(jìn)行自動(dòng)對焦定位。

優(yōu)勢

高剛性設計：減少振動(dòng)帶來(lái)的誤差。

快速響應：優(yōu)化算法提升對齊速度。

模塊化：可擴展為多單元協(xié)同工作。

技術(shù)參數

精度：±0.1 μm 或更高

重復定位精度：±0.05 μm

負載能力：1-5 kg（依賴(lài)機械結構設計）

傳感器類(lèi)型：光學(xué)編碼器/激光干涉儀

環(huán)境適應性：防塵、防振動(dòng)設計，適合潔凈室使用。

規格

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