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簡(jiǎn)要描述:日本Atec愛(ài)泰克潔凈室兼容 PVP10B型系列PVP10BP[D]-SJ[D]S是一種無(wú)接觸式磁懸浮傳送系統,專(zhuān)為潔凈室環(huán)境設計,適用于半導體、液晶面板、光伏電池等對潔凈度要求嚴苛的行業(yè)。其核心是通過(guò)電磁力驅動(dòng)載物平臺(Plane)實(shí)現無(wú)摩擦、無(wú)塵的物料傳輸。通過(guò)選擇多種塑料材料,可以減少對工件表面的損傷,并可根據條件調整運輸和定位,它比使用支撐塑料銷(xiāo)的傳統定位方法更輕,并且產(chǎn)生的灰塵更少。
深圳納加霍里科技專(zhuān)業(yè)代理銷(xiāo)售日本Atec愛(ài)泰克潔凈室兼容 PVP10B型系列PVP10BP[D]-SJ[D]S 產(chǎn)品特點(diǎn)如下:
日本Atec愛(ài)泰克潔凈室兼容 PVP10B型系列PVP10BP[D]-SJ[D]S 是一種無(wú)接觸式磁懸浮傳送系統,專(zhuān)為潔凈室環(huán)境設計,適用于半導體、液晶面板、光伏電池等對潔凈度要求嚴苛的行業(yè)。其核心是通過(guò)電磁力驅動(dòng)載物平臺(Plane)實(shí)現無(wú)摩擦、無(wú)塵的物料傳輸。
通過(guò)選擇多種塑料材料,可以減少對工件表面的損傷,并可根據條件調整運輸和定位,它比使用支撐塑料銷(xiāo)的傳統定位方法更輕,并且產(chǎn)生的灰塵更少。
潔凈室中使用的平面傳送器??筛鶕圃爝^(guò)程中的各種使用環(huán)境(耐磨、耐熱、防靜電、真空環(huán)境等)選擇各部件的材料。
從組裝到包裝,我們都在潔凈棚和潔凈工作臺上進(jìn)行工作。對每個(gè)部件進(jìn)行脫脂并用純水清洗,以盡可能去除加工過(guò)程中粘附在球表面的樹(shù)脂粉末。
標準平面載物臺,可選配真空吸附功能(用于固定晶圓或玻璃基板),直線(xiàn)型軌道,驅動(dòng)模塊(Drive)集成,不銹鋼材質(zhì)(Stainless Steel),符合潔凈室防銹要求。
核心技術(shù)特點(diǎn)
磁懸浮驅動(dòng):
通過(guò)線(xiàn)性電機技術(shù)實(shí)現非接觸式傳送,避免傳統皮帶/滾輪產(chǎn)生的微粒污染。
載物平臺與軌道無(wú)物理接觸,減少磨損和維護需求。
潔凈室兼容:
符合ISO Class 1-5級潔凈標準(取決于配置)。
材質(zhì)采用不銹鋼或陽(yáng)極氧化鋁,表面光滑易清潔。
高精度定位:
重復定位精度可達±0.01mm,適用于精密制造流程。
模塊化設計:
軌道可自由拼接擴展(直線(xiàn)/曲線(xiàn)),適應不同布局需求。
支持多載物平獨立立控制,提升傳輸效率。
典型應用場(chǎng)景
半導體制造:晶圓傳送、光刻機上下料。
FPD行業(yè):液晶面板、OLED基板運輸。
光伏產(chǎn)業(yè):硅片無(wú)塵輸送。
生物醫藥:無(wú)菌環(huán)境下試劑瓶或器械搬運。
可選配置與定制
真空吸附:防止薄型基板在高速移動(dòng)中偏移。
FFU(風(fēng)機過(guò)濾單元):集成局部潔凈氣流。
防靜電處理:避免靜電敏感器件損壞。
通信接口:支持SECS/GEM、EtherCAT等工業(yè)協(xié)議。
優(yōu)勢總結
污染:無(wú)摩擦、無(wú)潤滑劑,適合超凈環(huán)境。
低維護:無(wú)機械接觸部件,壽命長(cháng)。
靈活布局:模塊化設計適應復雜產(chǎn)線(xiàn)。
節能高效:比傳統傳送系統能耗更低。
規格
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